v  功能特點

ü  矩形SS316L電拋光，內腔屏蔽

ü  本底真空5E-7Torr或5E-10Torr

ü  UHV真空泵和真空計

ü  6 x 3寸行星樣品操作臺（公、自轉）

ü  石英紅外線燈，樣品加熱溫度300°C

ü  多個坩堝電子束蒸發源

ü  膜厚監測儀

ü  FBBeam系統控制軟件