原子層沉積設(shè)備原子層沉積技術(shù)已逐漸成為沉積功能膜的重要技術(shù)。該技術(shù)可以準(zhǔn)確地控制納米尺度上物質(zhì)的成分和形狀，并可以以單原子膜的形式逐層涂抹沉積物。原子層沉積設(shè)備原子層沉積過程通過連續(xù)的自限半反應(yīng)實(shí)現(xiàn)。在沉積反應(yīng)過程中，反應(yīng)氣相前驅(qū)體交替進(jìn)入，通過活性官能團(tuán)在基底表面形成單層化學(xué)吸附，完成反應(yīng)。經(jīng)過這種交替循環(huán)反應(yīng)后，膜將獲得納米的可控生長。由于這些沉積特性，原子層沉積技術(shù)在大面積沉積均勻膜、膜厚納米級可控生長、低溫條件沉積等方面具有重要的應(yīng)用前景。這些獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)使原子層沉積技術(shù)在大規(guī)模集成電路、新能源、催化劑、儲能材料等方面具有重要的應(yīng)用前景。

目前，我們的研究方向主要是將區(qū)域選擇性原子層沉積擴(kuò)展到納米顆粒沉積。我們將嘗試通過分子自組裝技術(shù)對基礎(chǔ)進(jìn)行改性，使原子層沉積過程沉積在局部地區(qū)，產(chǎn)生納米顆粒。一些特殊結(jié)構(gòu)的納米尺寸模板可以通過控制分子自組裝單層的生長來獲得。利用該模板產(chǎn)生納米顆粒，實(shí)現(xiàn)納米顆粒尺寸和形狀的可控生長。納米顆粒制備方法的適用范圍從純金屬顆粒擴(kuò)展到合金納米顆粒，產(chǎn)生近表面合金催化劑，實(shí)現(xiàn)合金顆粒的密度分布、尺寸和成分的原子尺寸。

2、原子層沉積設(shè)備

采用流化法，粉末顆粒與粉末夾持器連續(xù)移動，實(shí)現(xiàn)粉末分散狀態(tài)下的表面覆蓋，提高覆蓋均勻性和整體覆蓋率，節(jié)約沉積。

旋轉(zhuǎn)沉積設(shè)備：離心力驅(qū)動粉末旋轉(zhuǎn)，可實(shí)現(xiàn)壓力沉積過程，提高前驅(qū)利用率，減少粉末團(tuán)聚，通過流化氣流壓差分散粉末顆粒，增加反應(yīng)面積，提高覆蓋均勻性。